中国の科学者、磁気チップの高精度検査にブレイクスルー

北京航空航天大学で24日、厚さ原子5個分のナノ磁性薄膜に「100年」と記す集積回路学院の科学研究者。撮影・鞠煥宗

   「100年、中国『芯』」。中国共産党創立100周年を祝賀し、北京航空航天大学の科学研究者は原子5個分の厚さのナノ磁性薄膜に上述の文字を記した。この厚さは一般的なプリント用紙の10万分の1に相当する。新華社が伝えた。

    磁気チップを生産する過程で、ナノ磁性薄膜を均等にウェハー（シリコン半導体集積回路を作るための基板）に敷く必要がある。すべてのウェハーを完全に平らにするのはどれほど難しいのだろうか。北京航空航天大学集積回路学院工法・装備学部の教員である張学瑩氏は、「北京市海淀区（面積は431平方キロメートル）の地上に均等に米粒を5層敷き、そして完全に平らにしなければならないようなものだ。そのため薄膜の平坦性の検査が極めて重要だ」と述べた。

   張氏によると、科学研究者は検査装置を使い、微小の磁性針を使い薄膜に文字を記す。文字の色のコントラスト比が一致し、筆跡がはっきりしていれば、薄膜の均等性が高いことが分かる。平坦性の検査完了後、ナノ薄膜を部品にし、パッケージングしチップにする。