中国の科学者、磁気チップの高精度検査にブレイクスルー

    同検査装置は、北京航空航天大学集積回路学院の科学研究チームが開発した、ウェハー級磁気光学カー効果検査装置だ。

同学院工法・装備学部の王新河学部長は、「磁気チップは信頼性の高い情報保存モジュール、高感度の磁気信号センサーモジュールとして、航空機や衛星の制御システム、及び携帯電話の電子コンパス、自動車の自動運転などの分野に応用できる。その一方で、磁気チップの生産プロセスにおける磁性薄膜検査というキーテクノロジーは、中国の長期間にわたりネックとなる技術だった」と述べた。

「海外の同類装置と比べると、この装置は検査の精度と速度の面で技術革新を行っており、独自の革新とブレイクスルーを実現している」と王氏。

同装置は現在すでに科学研究分野で応用されており、そして今年10月に実用化される見通しだ。